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产品名称: IH600爱(ai)德华螺杆(gan)泵维修(xiu)
简要(yao)描述: IH600爱(ai)德华螺(luo)杆(gan)泵(beng)维(wei)修(xiu)(xiu),半导体真(zhen)空泵(beng)维(wei)修(xiu)(xiu)保养。GV系列干泵(beng)维(wei)修(xiu)(xiu),EH系列罗茨(ci)泵(beng)维(wei)修(xiu)(xiu)GVS系列螺(luo)杆(gan)泵(beng)维(wei)修(xiu)(xiu)
更新(xin)时间: 2021-12-09
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产品介绍

品牌其他品牌供货周期一周
应用领域医疗卫生,化工,石油,能源,电子

 

湖北武汉IH600爱德华螺杆泵维修,半导体真空(kong)泵维修保养。Edwards IH600系(xi)(xi)列干(gan)泵在(zai)(zai)环境(颗(ke)粒,腐蚀物(wu))下(xia)有(you)着高可靠性,例(li)如PECVD,LPCVD中(zhong)(zhong)。IH600工(gong)作在(zai)(zai)大气(qi)(qi)压和极(ji)限(xian)压力之间,无需(xu)润滑(hua),这样就(jiu)确(que)保了油(you)不会(hui)被反(fan)抽到系(xi)(xi)统(tong)(tong)中(zhong)(zhong)。IH600系(xi)(xi)统(tong)(tong)有(you)一个HCDP80干(gan)泵;HCMB-600干(gan)泵。IH600系(xi)(xi)统(tong)(tong)适(shi)用于无风冷电机的洁净环境中(zhong)(zhong)。IH600干(gan)泵系(xi)(xi)统(tong)(tong)还拥有(you)运送(song)清洁气(qi)(qi)体(ti)(ti)(ti)进入HCDP泵的气(qi)(qi)体(ti)(ti)(ti)系(xi)(xi)统(tong)(tong),适(shi)用于制程(cheng)物(wu)严重的工(gong)艺(yi)中(zhong)(zhong)。使用在(zai)(zai)较(jiao)低要求(qiu)的工(gong)艺(yi)下(xia)可共同(tong)改变(bian)气(qi)(qi)体(ti)(ti)(ti)排放模式改变(bian)N2消耗量。通过(guo)(guo)显(xian)示(shi)终端可手动控制真空系(xi)(xi)统(tong)(tong)。另(ling)外,可以通过(guo)(guo)接(jie)口模块或即时通讯模块或IH单设备(bei)监(jian)控器使用其他控制设备(bei)去操作IH干(gan)泵系(xi)(xi)统(tong)(tong)。 半导(dao)体(ti)(ti)(ti)晶圆厂的应用包括: LOADLOC 传送(song) 测量(liang) 光刻(ke) 物理(li)气相沉积工(gong)艺(yi) 物理(li)气相沉积预清洁 快速热(re)退(tui)火 去(qu)胶(jiao) 蚀刻(ke) 高密度等离子化(hua)学(xue)气(qi)相(xiang)沉积(ji) 高密度等离子体化(hua)学(xue)气(qi)相(xiang)沉积(ji)快速热(re)处理(li) 大气(qi)化(hua)学(xue)气(qi)相(xiang)沉积(ji)sacvd 钨化(hua)学气相沉积

等离子(zi)体增强化学气相沉积 低压化学(xue)气(qi)相淀(dian)积。

规格参数:

Edwards  IH600

项     目 参     数

Inlet Connection ISO 100

Outlet Connection NW40

Peak Speed 518 m3h1

8635 1min-1

305 CFM

Ultimate Vacuum 2 x 10-3 mbar

1.5 x 10-3 Torr

Power bbbbb at vacuum 3.1 kW

Rated Motor Power 5.1 kW

Weight 913 kg/lbs.

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