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产品名称: 半导(dao)体光学镀膜设(she)备氦检漏仪维修
简要描(miao)述: 专(zhuan)业检漏仪(yi)维修保养。半导体光学镀膜(mo)设备氦检漏仪(yi)维修品牌:提供(gong)Pfeiffer普发、Leybold莱宝(bao)、adixen阿尔卡特、Edwards爱德华、Varia瓦里安(an)、INFICON英福康(kang)、Shimadzu岛津、Agilen安(an)捷伦 、ULVAC爱发科等进(jin)口(kou)品牌的氦质谱检漏仪(yi)、氦质谱仪(yi)维修
更新时间: 2021-12-09
浏览次数: 204

产品介绍(shao)

品牌其他品牌产地类别进口
应用领域医疗卫生,化工,石油,能源,电子

专业检漏仪维修保养。半导体光学镀膜设备氦检漏仪维修提供维修保养品(pin)牌:Pfeiffer普发(fa)、Leybold莱宝(bao)、adixen阿(a)尔卡特、Edwards爱(ai)德华、Varia瓦里安(an)、INFICON英福康(kang)、Shimadzu岛津、Agilen安(an)捷(jie)伦 、ULVAC爱(ai)发(fa)科等进口品(pin)牌的氦(hai)质谱(pu)检漏仪(yi)、氦(hai)质谱(pu)仪(yi)维(wei)修(xiu)(xiu)、保养服(fu)务。 维(wei)修(xiu)(xiu)流(liu)程完善,长期备有原(yuan)厂维(wei)修(xiu)(xiu)配件,为客户提供优质的服(fu)务。

氦(hai)质谱(pu)检漏仪故障处理:分子泵(beng)不工(gong)作

(1)仪器(qi)界面(mian)上TMP(分(fen)子(zi)泵(beng)(beng)的(de)运转(zhuan)频率)显示“0”即分(fen)子(zi)泵(beng)(beng)没有工作。有可能是前级压(ya)力过高(该(gai)分(fen)子(zi)泵(beng)(beng)的(de)启动压(ya)力为200Pa)导致分(fen)子(zi)泵(beng)(beng)无法启动。

检查(cha)导致(zhi)压力(li)过(guo)高的(de)项目有:真空规管是否(fou)(fou)有问题,分子(zi)(zi)泵出(chu)口(kou)是否(fou)(fou)打(da)开,机械泵油是否(fou)(fou)太脏或机械泵是否(fou)(fou)转(zhuan)(zhuan)动(dong)(dong),系统是否(fou)(fou)有泄漏。也(ye)有可(ke)能是分子(zi)(zi)泵的(de)叶片(pian)或转(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)被损害,可(ke)自(zi)行用工(gong)具拨动(dong)(dong)叶片(pian),判断其(qi)能否(fou)(fou)转(zhuan)(zhuan)动(dong)(dong)。(2)分(fen)子泵(beng)加速指示灯不(bu)亮。电路板上的保险丝(si)烧断,更换保险丝(si)或检查是(shi)否有(you)短路现象。

(3)分(fen)子泵(beng)故(gu)障灯亮。检(jian)查电路板设置(zhi)开(kai)关(guan)是否处于R位置(zhi),此时(shi)应(ying)该在N位置(zhi)。检(jian)查风(feng)扇(shan)是否停止,如风(feng)扇(shan)正常,则可能为分(fen)子泵(beng)电源故(gu)障,请与厂家联系。

质谱(pu)室(shi)无法正常启动

灯(deng)丝(si)(si)无法正常启动,在确(que)认机械泵(beng)(beng)、分子(zi)(zi)泵(beng)(beng)处于正常工作状(zhuang)态后,若灯(deng)丝(si)(si)仍无法发射离(li)子(zi)(zi)流,则需要(yao)更换离(li)子(zi)(zi)源(yuan)。若灯(deng)丝(si)(si)指示灯(deng)闪烁,检查(cha)离(li)子(zi)(zi)源(yuan)航(hang)空插座与接(jie)线柱是否开(kai)(kai)(kai)路(lu),若开(kai)(kai)(kai)路(lu),需要(yao)更换灯(deng)丝(si)(si),若不开(kai)(kai)(kai)路(lu),检查(cha)其接(jie)线柱与其他接(jie)头是否导通,消除短路(lu)现象(xiang)。

半导体光学镀膜设备氦检漏仪维修品牌

专(zhuan)业(ye)(ye)维(wei)修AGILENT 936氦质谱检(jian)漏(lou)仪(yi),专(zhuan)业(ye)(ye)从事AGILENT 936检(jian)漏(lou)仪(yi)维(wei)修保养

专业(ye)维(wei)修AGILENT 947氦质谱检(jian)(jian)漏仪,专业(ye)从(cong)事(shi)AGILENT 947检(jian)(jian)漏仪维(wei)修保养

 专业维(wei)修ULVAC 714W2 氦质谱检漏(lou)仪(yi),专业从事ULVAC 714W2 氦质谱检漏(lou)仪(yi)维(wei)修

专业(ye)维修ULVAC 711D1氦(hai)质谱(pu)(pu)检漏(lou)仪,专业(ye)从(cong)事ULVAC 711D1氦(hai)质谱(pu)(pu)检漏(lou)仪维修

 

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