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产品名称: 半(ban)导体行业IH80爱德华干泵维修
简要描述(shu): 半导体行业(ye)IH80爱德华(hua)干泵维(wei)修.Edwards爱德华(hua)高级半导体真(zhen)空泵已经过现(xian)场应用证(zheng)明,可以(yi)按(an)照工作标准运(yun)行。通过延长使用寿命(ming)、提高运(yun)行时间并提高生产率,同时减小占地面积、降(jiang)低(di)运(yun)行成(cheng)本,实现(xian)了高的可靠性能。
更新时间: 2021-12-09
浏览次数(shu): 154

产品介绍

品牌其他品牌供货周期一周
应用领域医疗卫生,化工,石油,能源,电子

半导体行业IH80爱德华干泵维修.Edwards爱德华高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性能。

iH 系列真空泵为难(nan)以(yi)执行(xing)的(de)制(zhi)程(cheng)(如存在微粒、易冷凝(ning)和腐(fu)蚀性副(fu)产(chan)品的(de) PECVD 和 LPCVD 制(zhi)程(cheng))提供(gong)了高可靠xing。通常情(qing)况下在(zai)使用(yong)(yong)螺杆泵时,应定期的(de)对螺杆泵进行检(jian)查(cha),发现故障(zhang)要及时维修(xiu)。般螺杆泵检(jian)修(xiu)主(zhu)要有小(xiao)修(xiu)和大修(xiu)之分,螺杆泵小(xiao)修(xiu)的(de)检(jian)查(cha)周(zhou)期用(yong)(yong)在(zai)6个月左右,大修(xiu)的(de)检(jian)查(cha)周(zhou)期应在(zai)24个月。根据螺杆泵运行状(zhuang)(zhuang)况及状(zhuang)(zhuang)态监测结果可适当调(diao)整(zheng)检(jian)修(xiu)周(zhou)期。

半(ban)导体(ti)(ti)行(xing)业(ye)IH80爱德(de)华干泵维修(xiu)前准(zhun)备在检修螺杆泵前应做好以下准(zhun)备工作(zuo)。

①掌握运行(xing)情(qing)况,备(bei)齐必(bi)要的图纸资料(liao)。

②备齐检修工具、量具、配件及材料(liao)。

③切断电源及设备与系统联系,内部介质冷却、吹扫、置(zhi)换(huan)干净(jing),符(fu)合(he)安全检修条件。

螺杆泵的拆卸与(yu)检查(cha)

拆卸(xie)螺杆泵时应(ying)按以下步骤进行(xing)。

①检查(cha)电动机电源(yuan)(yuan);电源(yuan)(yuan)应断开,并将电源(yuan)(yuan)开关(guan)上锁(suo)。检查(cha)出、人(ren)口阀(fa)门关(guan)闭情(qing)况,若没有关(guan)闭,应关(guan)紧。

②松开电动机与(yu)泵轴之间的(de)联(lian)轴器(qi)的(de)连接螺(luo)栓,卸下联(lian)轴器(qi)。

③拆卸检查同步齿(chi)轮。

对于单螺杆(gan)泵(beng)或三螺杆(gan)泵(beng),拆卸泵(beng)后端盖,检(jian)查垫片、止推垫片、轴承(cheng)、轴向定位(wei)塞。

对于双螺杆泵(beng),拆卸(xie)泵(beng)后端盖,拆卸(xie)检(jian)查轴承(cheng)及密封。

④拆卸(xie)前(qian)端(duan)盖(gai),拆卸(xie)检查主、从动(dong)螺(luo)秆及(ji)密封。

⑤必(bi)要时更换端盖与泵体之(zhi)间垫片。

半导体(ti)(ti)行业IH80爱(ai)德(de)华干泵维修,超长保固期。

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